干式真空泵 A4X 系列
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            干式真空泵 A4X 系列

            干式真空泵 A4X 系列
            上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業,干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求,特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高,有效降低了企業成本。

            干式真空泵 A4X 系列核心優勢:
            耐腐蝕設計,使用壽命長
            通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
            特殊設計,避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
            配置氮氣吹掃閥,耐粉塵

            干式真空泵 A4X 系列應用:
            半導體:(蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
            涂料行業:光伏和 LED

            干式真空泵 A4X 系列技術參數:

            型號

            A 124 H

            A 604 H

            A 1204 H

            A 204 H
            A 204 X

            A 804 H
            A 804 X

            A 1504 H
            A 1504 X

            A 1804 H
            A 1804 X

            抽速 m3/h

            110

            560

            1150

            160

            700

            1200

            1700

            極限真空
            (氮氣吹掃閥關閉) hPa

            2X10-2

            2X10-4

            9X10-4

            5X10-2

            2X10-3

            2X10-3

            2X10-3

            極限真空
            (氮氣吹掃閥50 SLM) hPa

            5X10-2

            6X10-3

            6X10-3

            2X10-1

            9X10-3

            9X10-3

            9X10-3

            全轉速最大進氣氣流 SLM

            80

            60

            55

            150

            100

            100

            70

            最大功率 KW

            1.5

            1.9

            2.3

            1.8

            2.2

            2.6

            2.6

            最大排氣壓力hPa

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            1200

            進氣口 ISO-KF

            DN 50

            DN 100

            DN 160

            DN 50

            DN 100

            DN 160

            DN 160

            重量 kg

            250

            370

            530

            260

            380

            540

            540

             

            干式真空泵 A4X 系列抽速:
            上海伯東干式真空泵 Adixen

            上海伯東 Adixen 干式真空泵


             

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