Temptronic ThermoChuck
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            Temptronic ThermoChuck

            Temptronic ThermoChuck
            上海伯東美國 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系統利用導電加熱和冷卻系統,搭配晶圓探針臺共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低溫環境,適用晶圓 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微調 Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試,例如低泄漏探測(fA)和高電壓探測(10 kv),適用于晶圓、芯片在電高低溫環境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 適合各種廠牌晶圓探針臺,為確保兼容性,具體選型還請撥打客服熱線:021-50463511

            一、晶圓尺寸:150 和 200 mm

            ThermoChuck 型號

            溫度范圍°C

            冷卻

            加熱

            TP03000A

            -65 to +200°C

            Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

            熱電

            TP03010A

            +20 to +200°C

            風冷/水冷*

            熱電

            TP03010B

            0 to +200°C

            Closed loop glycol/water cooling

            熱電

            TP03015A

            +30 to +200°C (+300ºC optional)

            風冷/水冷*

            電阻

            TP03015B

            +30 to +200°C (+300°C optional)

            Closed loop glycol/水冷

            電阻

            電壓 115V或 220V
            * 用戶提供冷卻介質

            二、晶圓尺寸:300 mm

            ThermoChuck 型號

            溫度范圍°C

            冷卻

            加熱

            TP03500A

            -55 to +200

            Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

            電阻

            TP03500D

            +20 to +200

            Open loop air cooling with Vortex*

            電阻

            TP03500E

            +30 to +200

            Open loop air cooling*

            電阻

            電壓 220V
            * 用戶提供冷卻介質

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