KRI 考夫曼離子源 KDC 160
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            KRI 考夫曼離子源 KDC 160

            KRI 考夫曼離子源 KDC 160
            上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,離子能量最強的柵極離子源, 適用于已知的所有離子源應用, 離子源 KDC 160 高輸出設計,最大電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計,標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.

            KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數

            型號

            KDC 160

            供電

            DC magnetic confinement

             - 陰極燈絲

            2

             - 陽極電壓

            0-100V DC

            電子束

            OptiBeam™

             - 柵極

            專用, 自對準

             -柵極直徑

            16 cm

            中和器

            燈絲

            電源控制

            KSC 1212

            配置

            -

             - 陰極中和器

            Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

             - 安裝

            移動或快速法蘭

             - 高度

            9.92'

             - 直徑

            9.1'

             - 離子束

            聚焦
            平行
            散設

             -加工材料

            金屬
            電介質
            半導體

             -工藝氣體

            惰性
            活性
            混合

             -安裝距離

            8-45”

             - 自動控制

            控制4種氣體

            * 可選: 可調角度的支架

            KRI 考夫曼離子源 KDC 160 應用領域
            濺鍍和蒸發鍍膜 PC
            輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
            表面改性, 激活 SM
            離子濺射沉積和多層結構 IBSD
            離子蝕刻 IBE

            其他產品

                      大發百家樂
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