Pfeiffer 四級桿質譜分析儀 PrismaPlus
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            Pfeiffer 四級桿質譜分析儀 PrismaPlus

            殘余氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級桿質譜分析儀
            上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質譜 QMG系列,模塊化設計,質量數范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲,適用于多種測量用途,使用壽命長。
            Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢:
            1. 模組化設計提供了產品最好的適應性
            2. 結構緊湊,性能出眾
            3. 多種介面,系統集成簡單
            4. 可通過乙太網網路化
            5. 測試過程快速穩定,解析度高
            6. 分析器以及電子的可替換性
            7. 雙燈絲設計保證最大的可靠性
            8. 最低的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
            9. 配置Quadera®軟體,操作直觀
            殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數:

            型號

            QMG 220 F1

            QMG 220 F2

            QMG 220 F3

            QMG 220 M1

            QMG 220 M2

            QMG 220 M3

            檢測器

            法拉第 Faraday (F)

            電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

            質量數 amu

            1–100

            1–200

            1–300

            1–100

            1–200

            1–300

            四極桿直徑/長度

            6/100 mm

            最小檢測極限 F mbar

            1X10-12

            2X10-12

            4X10-12

            5X10-12

            1X10-11

            2X10-11

            最小檢測極限 M mbar

            -

            -

            -

            1X10-14

            < 2X10-14

            < 4X10-14

            對Ar的靈敏度 F A/mbar

            1X10-3

            6X10-4

            3X10-4

            5X10-4

            3X10-4

            1.5X10-4

            對Ar的靈敏度 M A/mbar

            -

            -

            -

            200

            200

            100

            最大工作壓力 F

            1X10-4 mbar

            最大工作壓力 M mbar

            -

            -

            -

            1X10-5

            1X10-5

            1X10-5

            對臨近質量數的影響

            < 10 ppm

            < 20 ppm

            < 50 ppm

            < 10 ppm

            < 20 ppm

            < 50 ppm

            操作溫度 F

            150 °C

            烘烤溫度 F

            200 °C / 300 °C

            連接法蘭

            DN 40 CF-F

            重量

            2.4 kg

            2.4 kg

            2.4 kg

            3.8 kg

            3.8 kg

            3.8 kg

                                 

            殘余氣體分析質譜儀應用:四極質譜儀 QMG非常適合于檢漏,殘氣分析以及綜合定量分析
            1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

            上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例一:分子束外延 MBE 氣體分析
            Pfeiffer 質譜應用
            上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例二:對 XPS 系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析
            上海伯東德國 Pfeiffer
            上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例三:分析真空釬焊過程中產生的氣體成分和含量
            普發質譜應用

            1.設計緊湊
            PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗,高靈敏度,高穩定性和智慧化操作的完美結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固,緊湊的設計和簡單的系統集成,并從中受益。
            2.應用范圍廣闊
            通過可選擇質量數范圍,檢測器、離子源和介面介面等,該四極質譜儀可以應用于多個領域,例如:工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從品質保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的最佳方案。
            3.檢測速度快,靈敏度高
            PrismaPlusTM 四極質譜儀可 以在三個不同的質量數范圍(1-100,1-200,1-300 amu)內,下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統中,配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀,即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外,直接增加一個壓力量規,PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監控器使用。
            4.智慧化的軟體
            Quadera 軟體不僅操作簡單,它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面,例如乙太網,數位式和類比式輸入輸出,可以方便地集成到各種系統中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。
             

            PrismaPlusTM 四極質譜儀尺寸及配件:


            Pfeiffer 氣體質譜分析儀:上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 產品的公司,100% 原裝進口并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。

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