Hakuto (NS) 離子蝕刻機

            Hakuto NS 日本原裝設計制造離子刻蝕機, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 AU, 鉑 PT, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供最優蝕刻. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. NS 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!

            Hakuto (NS) 離子蝕刻機

            Hakuto (NS) 離子蝕刻機對磁性材料, 黃金, 鉑和合金金屬提供最佳蝕刻技術. 適合做各種材料的蝕刻.

            型號

            NS 7.5IBE

            NS 10IBE

            NS 20IBE-C

            NS 20IBE-J

            適用范圍

            適用于科研院所,實驗室研究

            適合小規模量產使用和實驗室研究

            適合中等規模量產使用的離子刻蝕機

            適合大規模量產使用的離子刻蝕機

            基片尺寸

            Φ4 X 1片或
            Φ6 X 1片

            φ8 X 1片

            φ3 inch X 8片
            φ4 inch X 6片
            φ8 inch X 1片

            Φ4 inch X 12片
            φ5 inch X 10片
            φ6 inch X 8片

            NS 離子蝕刻機 7.5IBE

            小型離子蝕刻機,適用于科研院所,實驗室研究

            NS 離子蝕刻機 10IBE

            小型離子蝕刻機,適合小規模量產使用和實驗室研究

            NS 離子蝕刻機 20IBE-C

            適合中等規模量產使用的離子刻蝕機

             

            NS 離子蝕刻機 20IBE-J

            適合大規模量產使用的離子刻蝕機

             

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